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品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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类型 | 其他 | 应用领域 | 能源,电子,电气 |
EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪产品介绍:
EddyCus® map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
产品特点:
· 非接触式
· 快速、高重复度测量
· 高分辨率成像
· 最大 300 x 300 mm(12")的样品成像测量
· 封装的导电层的表征
· 软件集成分析功能,例如电阻均一性分布、线扫描、单点分析
· 测量数据保存和导出功能
· 缺陷识别、分析
产品优势:
·非接触式成像
·高速(5分钟测量10,000个检测点)
· 重复性和精确性
·高分辨率(9–90,000个检测点)
·封装后的膜层成像
·均匀性和缺陷成像
产品参数
测量技术 |
非接触式涡流传感器 |
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基材 |
晶圆(锭)、玻璃、箔等 |
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最大限度。扫描区域 |
12英寸/300毫米x 300毫米(根据要求更大) |
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边缘效应校正/排除 |
2–10毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求) |
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最大限度。样品厚度/传感器间隙 |
3 / 5 / 10 / 15毫米(由最厚的样品定义) |
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金属薄膜(如铝、铜)的厚度测量 |
2 nm–2 mm (根据薄层电阻) |
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扫描间距 |
1 / 2.5 / 5 / 10 / 25毫米(其他应要求提供) |
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每次测量点数(方形样品) |
0.5分钟100 个测量点3分钟10,000个测量点 |
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扫描时间 |
8英寸/200毫米x 200毫米,1至10分钟(1 – 10毫米间距) 12英寸/300毫米x 300毫米,2至6分钟(2.5 – 25毫米间距) |
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设备尺寸(w/h/d) |
31.5"x 19.1"x 33.5"/ 785毫米x 486毫米x 850毫米 |
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重量 |
90公斤 |
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更多可用功能 |
金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器 |
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VLSR |
LSR |
MSR |
HSR |
VHSR |
|
范围[欧姆/平方] |
0.0001–0.1 |
0.1–10 |
0.1–100 |
10–2000 |
1,000–200,000 |
精度/偏差 |
±1% |
±1–3% |
±3–5% |
||
重复性(2σ) |
< 0.5% |
<1% |
< 0.5% |
软件和设备操控:
· 人性化的软件
· 实时测绘测量
· 易于使用的统计分析选项
· 预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)
· CSV 和 pdf 导出
· 3 用户级别
· 用于参数转换的材料数据库
· 边缘效应补偿
· 数据的存储和导入
· 数据集的导出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)
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