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Radiant薄膜横向压电系数e31测试装置采用悬臂梁法,结合Radiant Precision系统可精确地确定压电薄膜系数e31、d31和e33,重新加载一致性达到2%。
Radiant的悬臂梁法测薄膜横向压电系数e31测试装置可测量悬臂上沉积的压电薄膜的系数。通过向压电薄膜施加电压使基材向不同方向弯曲。由配置的光电传感器捕获悬臂顶端的运动,该测试模组可容纳72mm和43mm悬臂。
Radiant薄膜横向压电系数e31测试装置和Radiant Precision测试系统可以进行三种类型的测量。
1)确定悬臂梁的针尖位移作关于电压的函数
2)可以执行的第二种类型的测试是直接d31测量,这是通过悬臂梁施加力记录压电电容器的电荷量实现。
3)如果使用叉指电极,则测量e33
准确性
可复制到1%,卸载和重新加载准确度达2%。
可重复性
重新加载相同样本时没有差异。
操作简单
无须复杂调试,操作简单
多功能
薄膜或散装、生产或研究。
灵活
薄膜压电测试束将适应
各种样本几何图形。
薄膜压电测试模组的测量包括但不限于下列测试:
e31、d31、e33与厚度
位移与电压
压电疲劳
压电老化
成分比较
过程监控
多重绘制和平均
薄膜压电测试套件包括:
l 薄膜压电测试夹具
特殊设计的薄膜测试夹具
l 压电位移传感器
Radiant的压电光子技术规格:
测量范围6mm,精度1微米。
压电位移传感器模拟输出校准为5微米/V(或=0.2V/微米)。
当压电位移传感器模拟输出连接到Radiant Precision测量系统的传感器端口后,输出电压由ADC测量,其分辨率为0.3mV/步。
l 先进的压电软件
先进的压电软件对压电薄膜或压电MEMS自动执行测试并提供清晰的位移结果;
测量软件可以配置为不同的测量值,只需按一下按钮即可生成多个绘图。
可以对测试台进行多次测量以修正漂移值,然后平均/平滑测量值,以纠正过高和过低频噪声。
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