NanoSystem NV-3200非接触式3D光学轮廓仪

NanoSystem成立于2003年，为半导体、显示器和其他精密机械行业提供了用非接触式表面测量方法进行测量的解决方案。 NanoSystem已经建立了非接触式2D、3D测量和检测系统的核心技术，并成为该市场解决方案的Leader。

高精度(Z轴分辨率达0.1nm)的非接触式表面轮廓仪，采用白光扫描干涉技术，使客户有能力看到、理解和纠正或保持产品质量。

NanoSystem NV-3200非接触式3D光学轮廓仪为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS，Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的测量.

包括：非接触3D形貌测量，更广的测量范围（5mm可选），自动聚焦功能（可选），拼接和线路纵断面等功能。

NanoSystem NV-3200非接触式3D光学轮廓仪技术参数

干涉物镜：5物镜可选(程控）

扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）

倾斜度：±6°

工作平台：NV-P2020  200X200mm（程控）    

NV-P4050  400X500mm（程控）