Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪

Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪通过的技术力对多样研究所有的表面提供优化解决方案。所有的功能实现全自动快速运转。

NVF-2700可以快测量所有表面的测量仪，利用持有的白光干涉仪WSI和相应算法开发的产品。X，Y，Z轴全部设计为全自动，通过可调节F.O.V镜头，自动构成多样的倍率。此产品专为研究所，大学和工艺管理而制作的产品。此设备可以通过拼接（Stitching）功能可以进行大面积（500㎟）测量。

得到的WSI/PSI技术，只需要表面有1%的反射率即可测量，表面现象中的高度，宽度，幅度，粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各种项目均可测量。

此外，WSI的高度分辨率为0.1nm，2秒钟时间即可扫描所有的表面，在不破坏样品的情况下,可测定0.1nm到1000um的样品，均可观察2D/3D的现象。不仅如此，更是保障了0.1%(1σ)世界水准的重复性，本公司保有的技术可应用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。

Nanosystem NVF-2700 非接触式3D轮廓仪的优点

·       优良的测量精度

·       抗振动设计

·       快速测量速度

·       友好的测量界面

·       Stitching功能

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌测量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (选项)

·       高度，深度，宽度(从亚纳米到10mm)·

·       面积信息(体积，面积)

·       2D和3D 测量

特点

Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time

纳米级的几何光学测量

粗糙度，段差，细微形貌，薄膜表面

Full range scan只需要两秒! 扫描速度Max. 116μm/S

两步A/F简单准备的全自动聚焦

ISO Roughness参数（ISO25178/12781/4287等）

可一次性分析透明薄膜厚度及内部形貌（选购）

产品规格：

测量方法：白光扫描干涉法/相移干涉法

FOV镜头：4位电动转塔，可加装F.O.V（选项）

干涉物镜：5物镜可选(程控）

光源：白光LED照明

扫描范围：≤270um（PZT）

扫描速度：12μm/sec (1x~5x用户可选)

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

横向分辨率：0.2-4μm（取决于物镜和FOV）

台阶高度重复性：0.1％@1σ (标准8um台阶样品)

倾斜度：±6°

XY行程：100mmX100mm

工作台尺寸： 230X230mm（程控）

选项

FOV镜头： 0.5X，0.75X，1X，1.5X，2X(可选)

干涉物镜：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可选)

扫描范围：多达可达10mm（电机扫描选项）