Nanosystem NV-2400非接触式3D轮廓仪

Nanosystem NV-2400非接触式3D轮廓仪是一款适用于各种表面的快速非接触式三维轮廓仪。XY自动平台，而Z轴是手动的。纳米系统主要是为R&D、高校和过程管理用户而设计。Nanosystem用自己Patented算法和白光干涉技术创造硬件和软件。它可以通过拼接函数测量大视场(500mm²)。Patented WSI/PSI技术测量各种表面材料和参数，包括表面纹理、形状、台阶高度和更高的二维和三维剖面(0.1 nm-垂直和0.2 um-横向分辨率)。Patented WSI/PSI技术测量各种表面材料和参数，包括表面纹理的2D和3D轮廓，形状，台阶高度及以上(0.1nm-垂直和0.2微米-横向分辨率)。

白光扫描干涉技术(WSI)是一种测量高分辨率(0.1nm)、高速测量表面积、高度和体积的技术。在不破坏任何破坏的情况下，纳米系统的WSI技术(白光扫描干涉法)能在几秒钟内从0.1nm到10000米范围内测量样品，并提供真实的样品三维形状。此外，重复性小于0.1%(1σ)，无论放大，z轴分辨率为0.1nm。基于纳米系统技术的精度(高精度、重复性和重复性)，该产品可广泛应用于半导体、印刷电路板、显示、工程部件、化工材料、光学部件、生物、R&D等领域。

Nanosystem NV-2400非接触式3D轮廓仪提供高分辨率(0.1nm)、10万倍放大率(10 Mm)和高清晰度图像，在0.1nm至10000 m范围内，在2秒内测量样品，提供真实的2D/3D样品形状，无需准备(只需将样品直接放在舞台上)，测量任意尺寸和几乎任何材料的样品(反射率为1%)。

NV-2400的优点

·优良的测量精度

·抗振动设计

·快速测量速度

·友好的测量界面

·Stitching功能

·2D和3D多功能性能

主要功能

·3D形貌测量

·粗糙度(ISO 25178)和平整度(选项)

·高度，深度，宽度(从亚纳米到10mm)·

·面积信息(体积，面积)

·2D和3D测量

产品规格

·干涉物镜：5个物镜可选

·扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）

·垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm，PSI：﹤0.1nm

·倾斜台：±6°

·Z轴行程：100mm（手动）

·工作台面：100X100mm（程控)