NanoSystem NV-1800 3D轮廓仪

NanoSystem NV-1800 3D轮廓仪是一种手动的非接触式三维轮廓仪，适用于任何表面。其设计简单，忠实于基本功能。Nanosystem利用自己的patented算法和白光干涉技术创造H/W和S/W。Patented的WSI/PSI技术测量各种表面材料和参数，包括表面纹理、形状、台阶高度和更高(0.1nm-垂直和0.2 um-横向分辨率)的二维和三维剖面。

白光扫描干涉技术(WSI)是一种测量高分辨率(0.1nm)、高速测量表面积、高度和体积的技术。在不破坏任何破坏的情况下，纳米系统的WSI技术(白光扫描干涉法)能在几秒钟内从0.1nm到10000μm范围内测量样品，并提供真实的样品三维形状。此外，重复性小于0.1%(1σ)，无论放大，z轴分辨率为0.1nm。基于纳米系统技术的精度(高精度、重复性和重复性)，该产品可广泛应用于半导体、印刷电路板、显示、工程部件、化工材料、光学部件、生物、R&D等领域。

NanoSystem NV-1800 3D轮廓仪提供高分辨率(0.1nm)、10万倍放大率(10 Mm)和高清晰度图像，在0.1nm至10000μm范围内，在2秒内测量样品，提供真实的2D/3D样品形貌，无需准备(只需将样品直接放在样品台上)，测量任意尺寸和几乎任何材料的样品(反射率为1%)。

NV-1800的优点

·优良的测量精度

·无需振动台面

·抗振动的紧凑设计

·快速测量速度

·友好的测量界面

·全手动操作

·2D和3D多功能性能

主要功能

·3D形貌测量-粗糙度(ISO 25178)和平整度(选项)

·高度，深度，宽度(从亚纳米到10)·

·面积信息(体积，面积)-2D, 3D Measurement

产品规格：

·干涉物镜：单透镜可选

·扫描范围：0-180um（270um可选）

·垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm，PSI：﹤0.1nm

·倾斜台：±3°

·Z轴行程：30mm（手动）

·工作台面：50X50mm（手动）

应用领域：

Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。